硅片清洗如何（硅片的清洗方法）

大家好，郎郎来为大家解答以上问题。硅片清洗如何，硅片的清洗方法很多人还不知道，现在让我们一起来看看吧！

1、首先去除硅片表面的有机污染物，因为有机物会覆盖硅片表面的一部分，导致氧化膜和相关污染物难以去除；

2、然后溶解氧化膜，因为氧化层是“污染陷阱”，也会引入外延缺陷；最后，颗粒、金属和其他污染物被去除，硅晶片的表面被钝化。

本文到此结束，希望对大家有所帮助。